单项选择题

如果SiO₂湿法腐蚀想获得更缓的台阶角度，以下方法可行的是（）。

A.升高烘烤温度
B.降低烘烤温度
C.改干+湿工艺
D.使用粘附性好的光刻胶

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单项选择题

BOE腐蚀液是指氢氟酸和以下哪个酸液的混合液？（）

A.硫酸
B.氨水
C.氟化铵
D.双氧水

单项选择题

湿法去胶用到的化学品是硫酸和（）。

A.氢氟酸
B.双氧水
C.盐酸
D.磷酸