A.H2B.CO2C.C2H4D.CH4
A.纯度不低于99.99%B.纯度不低于99%C.湿度小于等于80%D.纯净无油
A.小于等于50μL/LB.小于等于100μL/LC.小于等于150μL/LD.小于等于200μL/L