单项选择题

以下不是扩散工艺的重要参数是（）。‎

A.表面浓度
B.杂质类型
C.结深
D.掺入杂质总量

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单项选择题

固相扩散是通过微观粒子一系列随机跳跃来实现的，主要有三种方式。如下不是固相扩散方式的是（）。‎

A.间隙式扩散
B.替位式扩散
C.热运动
D.间隙—替位式扩散

单项选择题

通过定域、定量扩散掺杂，不能实现的目的是（）。‌

A.改变半导体导电类型
B.改变电阻率
C.形成PN结
D.形成隔离