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硅片干蚀刻前必须要做什么?()
A.CMP
B.涂抹光刻胶
C.清洗
D.干燥
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关于Beamline的功能,不正确的是()。
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隔膜真空计精度比较高,误差大约是()。
A.±0.5%
B.±0.1~0.3%
C.±0.4%
D.±1%
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