问答题

【简答题】如何评价泵的基本性能？

答案：

①抽气速率
②极限压强
③最大工作压强
④可运用范围
对于超高真空范围内的泵还需要考虑对不同气体的抽速和残余气体的成分。

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【简答题】辉光放电的等离子区中电离度是多少？

答案：

辉光放电的等离子区中电离度约10^-4数量级。

【简答题】放电过程中为什么会发光？

答案：在放电的区域中存在激发发光，离子复合发光（负辉区），电子复合发光（等离子区）。