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改良西门子法是一个闭路循环系统,多晶硅生产中的各种无聊得到充分的利用,排出的废料极少。
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改良西门子法能对产生的氢气、氯化氢、氯硅烷等副产物进行回收利用。
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改良西门子法的原料主要是硅石。
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