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单项选择题

M2/M3顶Ti的作用是（）

A.Ti-与Poly接触好，常温性下稳定性好
B.良好的导电性
C.防止Alhilllock产生

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多项选择题

一般完成一道MASK所需要的流程有（）

A.成膜
B.曝光
C.刻蚀
D.剥离
单项选择题

柔性OLED-LTPS制程中，氢化站点作用是（）

A.H含量降低至2%以下，防止ELA氢爆
B.Poly-Si晶格修补（经过多次的离子注入、Plasma损害）
C.用氢原子填补多晶硅及氧化层间的界面态，晶粒间界态及氧化层缺陷，以减少这些不稳定态的数目，提升电特性（ss稳定性）
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