问答题

【简答题】在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么？

答案：

一、将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中
二、在后续工艺中，保护下面的材料

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第二步：旋转涂胶，将硅片被固定在载片台上，一定数...

【简答题】解释什么是暗场掩模板？

答案：暗场掩膜版是指一个掩膜版，它的石英版上大部分被铬覆盖，并且不透光。