填空题

光栅式线性位移传感器是利用（）的莫尔条纹来进行测量的。

答案：计量光栅

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在机电一体化系统中使用速度检测是为了实现操作机构的（）控制。当用直流、交流伺服电机驱动机构时，多用测速发电机作为速度检测器，也可以用位移传感器来进行速度检测。

答案：速度闭环

霍尔效应式线性位移传感器有结构简单、体积小等优点，缺点是其性能受（）影响大。

答案：温度