A.气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子B.金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上C.气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上D.金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子
A.多用电子束蒸发源B.蒸发源种类很多C.蒸发源加热利用蒸汽压实现物质的蒸发D.蒸发源不需要放在真空环境中
A.热的蒸发源B.冷的基板C.真空的环境D.热的基板