填空题

为了获得不同的结深，可以调节离子注入的参数是（）

答案：能量

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将气体电离产生离子，并通过吸极形成离子束的是（）

答案：离子源

靶室的一个重要任务就是监控离子注入剂量，可以利用法拉第杯的传感器来测量离子束电流。

答案：正确