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【简答题】激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似,但薄膜的生长特点在许多方面是不同的,这其中的主要原因是什么?
答案:
(1)由于激光化学气相沉积中的加热非常局域化,因此其反应温度可以达到很高。
(2)在激光化学气相沉积中可以对反...
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【简答题】激光化学气相沉积过程中显示出的那些独特优越性?
答案:
激光的方向性可以使光束射向很小尺寸上的一个精确区域,产生局域沉积。通过选择激光波长可以确定光致反应沉积或热致反应沉积。在...
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【简答题】何为激光化学气相沉积,它的主要机制和作用是什么?
答案:
激光化学气相沉积是通过使用激光源产生出来的激光束实现化学气相沉积的一种方法。从本质上讲,由激光触发的化学反应有两种机制:...
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