A.1%~5% B.1%~3% C.0.5%~1%
A.1~2 B.3~15 C.5~20 D.2~5
A.流量控制器 B.泵和仪器出口连接处 C.仪器内部气样过滤器、反应室和流量计 D.外部管道和所有接头