A.CVD过程需要能量,根据能量的来源可将CVD分成热CVD ,光CVD等B.CVD不易实现高精度的膜层C.CVD生产快,批量大,所以大多数制膜采用CVDD.PVD属于CVD的一种
A.热氧化法B.CVD法C.溅射沉积法D.掩模