单项选择题

高电流注入机的扫描方式为（）。

A.静电扫描
B.机械扫描
C.静电扫描与机械扫描结合

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单项选择题

下列选项属于BF₃的特性的是（）

A.黄色标识，有白烟
B.红色标识，臭大蒜味道
C.黑色标识，无色大蒜味

单项选择题

离子注入机机架外壳和高压放电棒接地电阻小于（）。

A.1Ω
B.5Ω
C.10Ω