因素分析法是将某一综合指标分解为各个相互关联的因素，测定这些因素对综合性指标差异额的影响程度的一种分析方法。
利用因素分析法的程序如下：
第一，将分析的某项经济指标分解为若干因素的乘积；
第二，计算经济指标的实际数与基期数（如计划数、上期数等），从而形成两个指标体系。
第三，确定各因素的替代顺序；
第四，计算替代指标。
第五，计算各因素变动对经济指标的影响程度。
第六，将各因素变对对经济指标影响程度的数额相加，应与该项经济指标实际数与基期的差额（分析对象）相等。
采用因素分析法进行成本分析时，可用以下公式表示：
设某项经济指标N是由A，B，C三个因素组成的。在分析时，若是用实际指标与计划指标进行对比，则计划指标（N0）与实际指标（N1）的计算公式如下：
计划指标N0=A0×B0×C0 实际指标N1=A1×B1×C1 分析对象为N1-N0的差额。
采用因素分析法测定各因素变动对指标N的影响程度时，各项计划指标，实际指标及替代指标的计算公式如下：
计划指标 N0=A0×B0×C0-----------（1）
第一次替代N2=A1×B0×C0-----------（2）
第二次替代N3=A1×B1×C0-----------（3）
实际指标 N1=A1×B1×C1-----------（4）
各因素变动对指标N的影响数额按下式计算：
由于A因素变动的影响=（2）-（1）=N2-N0
由于B因素变动的影响=（3）-（2）=N3-N2
由于C因素变动的影响=（4）-（3）=N1-N3
将上述三个项目相加，即为各因素变动对指标N的影响程度，它与分析对象应相等。