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【简答题】化学气相沉积的主要缺点有哪些?
答案:
(1)化学反应需要高温;
(2)反应气体会和基片或设备发生化学反应;
(3)在化学气相沉积中所使用的...
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答案:
低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是目前具有最高极限真空的抽气泵。低温泵又称冷凝泵、深冷...
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