问答题

【简答题】化学气相沉积的主要缺点有哪些?

答案: (1)化学反应需要高温;
(2)反应气体会和基片或设备发生化学反应;
(3)在化学气相沉积中所使用的...
题目列表

你可能感兴趣的试题

问答题

【简答题】简述捕获泵再生时必须遵循的要求。

答案: (1)-且开始再生处理,就必须清除彻底。这是因为局部升温时会使屏蔽板上冷凝的大量水蒸气转移到内部的深冷吸气板上.严重损害...
问答题

【简答题】何为低温泵,按其工作原理可分几种类型?

答案: 低温泵是利用20K以下的低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是目前具有最高极限真空的抽气泵。低温泵又称冷凝泵、深冷...
微信扫码免费搜题