问答题

【简答题】常用的真空泵浦有几种？适用的抽气范围为何？

答案：

真空泵浦可分：
（1）机械帮浦
（2）扩散泵浦
（3）涡轮泵浦
（4）吸附泵浦
（5）吸着泵浦

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【简答题】镀膜技术可区分为几类？

答案：

（1）真空蒸镀
（2）电镀
（3）化学反应
（4）热处理
（5）物理或机械处理

【简答题】请具体分析MGF₂溅料产生的原因？对此有什么好的方法可以预防。

答案： MgF₂蒸发过程中在熔化物上面容易形成氧化物层，而MgO比MgF₂具有更低的...