单项选择题

由于衬底晶向排列比较规则，注入的离子没有与硅原子碰撞，穿入到硅衬底很深的位置的现象称为（）

A.退火
B.鸟嘴效应
C.晶格损伤
D.沟道效应

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多项选择题

表征扩散质量的主要参数是（）

A.扩散结深
B.方块电阻
C.表面质量
D.表面浓度

方块电阻是指电流流经一个长宽相等，厚度为Xj的扩散层所显示出来的电阻。

答案：正确