问答题

【简答题】例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

答案：金属用于硅片制造的七个要求：
1.导电率：为维持电性能的完整性，必须具有高电导率，能够传导高电流密度。

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用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀积SiO₂ Si（C_...