填空题

恒温条件主要以两个指标进行衡量，（）和（）。

答案：恒温基数；恒温精度

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电子束加工是在（）条件下，利用聚焦后能量密度极高、（）对工件进行加工的方法。

答案：真空；速度极高的电子

三束加工是指（）、（）和（）。

答案：电子束；离子束；激光束