问答题

【简答题】MOS器件的主要特性是什幺？

答案：它主要是通过栅极电压（Vg）来控制源，漏极(S/D)之间电流，实现其开关特性。

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【简答题】硅化物（salicide）的形成步骤主要可分为哪些？

答案： ①Co（或Ti）+TiN的沉积；
②第一次RTA（快速热处理）来形成Salicide。
③将未反应的...

【简答题】何谓硅化物( salicide)?

答案： Si与Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般来说是用来降低接触电阻值（Rs, Rc）。