多项选择题

扩散系数可以表示（）

A.扩散的快慢
B.扩散的原因
C.扩散的难易程度
D.扩散的方向

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刻蚀的主要参数有（）

A.刻蚀速率
B.刻蚀选择比
C.刻蚀因子
D.均匀性

多项选择题

以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）

A.湿法刻蚀
B.溅射刻蚀
C.等离子体刻蚀
D.反应离子刻蚀