单项选择题

CVD成膜过程中，成膜（）片进行clean动作

A.2
B.3
C.4
D.5

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多项选择题

柔性封装相对刚性封装，有（）优势

A.封装效果更佳
B.更薄
C.可折叠
D.可卷曲

多项选择题

以下所列属于检测设备的是（）

A.AOI
B.CDC
C.RS
D.SE/SR