单项选择题

在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

A.电子振荡放电
B.离子自动放电
C.低电压弧光放电
D.双等离子电弧放电

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多项选择题

离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

A.砷化氢
B.二硼化氢
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

单项选择题

离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

A.中子源
B.离子源
C.电子源
D.质子源