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【简答题】写出菲克第一定律和第二定律的表达式,并解释其含义。
答案:
费克第一定律:C杂质浓度;D扩散系数(单位为cm2/s)J材料净流量(单位时间内流过单位面积的原子个数)解释:如果在一个...
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【论述题】杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
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①交换式:两相邻原子由于有足够高的能量,互相交换位置。②空位式:由于有晶格空位,相邻原子能移动过来。③填隙式:在空隙中的...
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【论述题】集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺?各有什么优缺点?
答案:
扩散工艺分类:按原始杂质源在室温下的相态分类,可分为固态源扩散,液态源扩散和气态源扩散。固态源扩散(1).开管扩散...
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