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电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件,又转换成热能来蚀除金属的。
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电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。
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实现超精密加工的关键是微量去除技术。
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