通过在物体表面移动一种敏锐的探针来研究表面特征的显微镜(如扫描隧道显微镜)。
这种电子显微镜用电子束扫描样品表面,收集从表面发出的二次电子形成样品的表面图像。
能辨析两点之间最小距离的能力,距离越小,分辨率越高。