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【简答题】简述CVD技术的热动力学原理——热力学
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化学气相沉积是把含有构成薄膜元素的气态反应剂的蒸汽及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应,并把固体产物沉积...
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【简答题】简述CVD技术的反应原理
答案:
CVD是一种材料表面改性技术。它利用气相间的反应,在不改变基体材料的成分和不削弱的基体材料的强度条件下,赋予材料表面一些...
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名词解释
化学气相沉积
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乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经...
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