问答题

【简答题】简述CVD技术的热动力学原理——热力学

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名词解释

化学气相沉积

答案: 乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经...
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