单项选择题

电迁移通常是指在电场的作用下，电子向阳极运动，使得（）一同运动的现象。

A.质子
B.中子
C.原子
D.载流子

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单项选择题

关于离子注入说法错误的是（）。

A.离子注入产生缺陷
B.离子注入完以后需要退火
C.离子注入装置中质量分析作用是祛除杂质
D.离子注入和热氧化法差不多

单项选择题

关于Si中离子注入As，随着能量的提高（相同剂量As）不会发生（）。

A.最高浓度下降
B.最高浓度往内移动
C.浓度分布宽度增加
D.最高浓度提高