指制造系统对系统内部及外部环境的一种适应能力,也是指制造系统能够适应产品变化的能力。
是一种新型的三维超微细加工技术,采用深度X射线光刻,电铸成模或微塑造的方法,可以用来制作任意形状的三维微细结构。
借助计算机,将与制造有关的技术集成起来,使各类功能得到整体优化,从而提高企业适应市场竞争的能力
加工精度在10-0.1um,表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技术。