A.真空镀膜机 B.真空镀膜室 C.真空镀膜器 D.真空镀膜仪
A.衬底加热器 B.抽气系统 C.真空室 D.蒸气源加热器
A.等离子体刻蚀 B.反应离子刻蚀 C.湿法刻蚀 D.溅射刻蚀
A.氧化铜 B.硝酸镁 C.硝酸银 D.氯化铜
A.隔挡气体交换 B.控制蒸发的过程 C.辅助热量交换 D.温度调节