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集成电路制造工艺员单项选择题每日一练(2019.08.13)

  • 单项选择题

    ()由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。

    A.真空镀膜机
    B.真空镀膜室
    C.真空镀膜器
    D.真空镀膜仪

  • 单项选择题

    真空镀膜室中的钟罩与底盘构成()。

    A.衬底加热器
    B.抽气系统
    C.真空室
    D.蒸气源加热器

  • 单项选择题

    铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。

    A.等离子体刻蚀
    B.反应离子刻蚀
    C.湿法刻蚀
    D.溅射刻蚀

  • 单项选择题

    检验水中是否有盐酸,可用()溶液滴入水中,如果出现白色沉淀,就表示水中有盐酸。

    A.氧化铜
    B.硝酸镁
    C.硝酸银
    D.氯化铜

  • 单项选择题

    真空镀膜室内,在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板,用来()。

    A.隔挡气体交换
    B.控制蒸发的过程
    C.辅助热量交换
    D.温度调节

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