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集成电路技术判断题每日一练(2019.07.24)
判断题
与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。
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判断题
LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的，APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。
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判断题
光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是，光刻胶只对特定波长的光线敏感，例如深紫外线和白光，而对黄光不敏感。
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判断题
CD越小，源漏结的掺杂区越深。
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判断题
平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。
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