集成电路技术名词解释每日一练(2019.05.10)

当离子沿晶轴方向入射时，大部分离子将沿沟道运动，不会受到原子核的散射，方向基本不变，可以走得很远。

是指用金属薄膜填充通孔，以便在两金属层之间形成电连接。

加热蒸发源，使原子或分子从蒸发源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（衬底）表面，凝结形成固态薄膜。

高分辨率；高灵敏光刻胶；低缺陷；精密的套刻对准。