(1)减小Start位置; (2)加大2P时间、压力; (3)清洁放气环; (4)降低静模温度。
(1)检查染料情况; (2)检查dye泵工作情况,有没有压缩空气,是否关闭dye泵; (3)检查dye泵膜片是否破损。
①调整洗边正角压力; ②调整下料阀; ③调整针头与盘片的位置和角度; ④增大1段速度; ⑤增大二段时间; ⑥检查Mask。