A.刻蚀速率 B.选择性 C.各向同性 D.各向异性
A.2族金属 B.碱金属 C.合金金属 D.稀有金属
A.离子注入 B.刻蚀 C.扩散 D.光刻
A.DQN B.CA C.ARC D.PMMA
A.4～6h B.50min～2h C.10～40min D.5～10min
